與MEMS傳感器一樣，毛細(xì)管傳感器也是采用層流元件來產(chǎn)生壓差，使小部分流量進入旁路管道。而主要區(qū)別在于：毛細(xì)管傳感器不與介質(zhì)直接接觸。兩個溫度相關(guān)的電阻纏繞在不銹鋼毛細(xì)管上，構(gòu)成半個惠斯頓電橋。當(dāng)氣體流過毛細(xì)管時，就會帶走一部分熱量，流向為從R₁ 至R₂.這時，R₁ 的阻值下降，而R₂的阻值 上升。如果給電橋提供恒定的電流，其輸出電壓就與這兩個電阻的差值成正比。因此該輸出電壓與流過的氣體的質(zhì)量流量成線性關(guān)系。其線性關(guān)系甚至使該傳感器可用于未經(jīng)標(biāo)定的氣體；通過采用一個轉(zhuǎn)換因子當(dāng)前因子對當(dāng)前介質(zhì)的測量進行修正。這樣就可簡化標(biāo)定，同時正確選擇傳感器材質(zhì)可確保毛細(xì)管傳感器適用于腐蝕性氣體。

    該傳感器的動態(tài)特性取決于不銹鋼毛細(xì)管的管壁特性，它起著熱障的作用。毛細(xì)管傳感器的響應(yīng)時間通常為幾秒，適用于大多數(shù)腐蝕性或毒性氣體。